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AMD\IBM presentano la litografia ad immersione

Tecnologia: soe.CityHunter 14 Dicembre 06 @ 20:00 pm


AMD\IBM presentano la litografia ad immersione

AMD e IBM nel corso del International Electron Device Meeting hanno presentato tutta la documentazione del processo di litografia a immersione , di un Dielettrico a bassissima capacitą (ultra-low-k) e transistor ad alta efficenza di commutazione che verranno usati nella produzione di microprocessori a 45nm.
AMD e IBM prevedono di cominciare la commercializzazione dei primi prodotti a meta del 2008.

La litografia ad immersione avviene con l'ausilio di un liquio trasparente che riempie gli spazi tra la lente di proiezione e il sistema di litografia "step and repeat" e il wafer di silicio.
Questo processo migliora notevolmente la...


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